采用(yòng)高(gāo)分辨率成像的明暗场晶圆表面检(jiǎn)测,基于图(tú)像算法、检测模型和良品异常检测三种(zhǒng)模式,检(jiǎn)出(chū)晶圆表面缺陷,并提(tí)供数据统计分析
2D检(jiǎn)测精确度
um
1
UPH
pcs/h
60
漏检率
ppm
≤50
先进(jìn)算法储备
AI大模型与(yǔ)小(xiǎo)模型融合,支持基于良品和不良品的(de)模型训练方(fāng)式(shì),支(zhī)持基于大模型(xíng)的智(zhì)慧标注和样本生成(chéng),解决样本不均(jun1)衡场景下的快速上线,支持增量学习模式,控制(zhì)样本集规模,提高(gāo)模型迭代速度(dù),支持并(bìng)行、并发的处理模(mó)式(shì)
数据统计(jì)和分析(xī)功(gōng)能
用于检(jiǎn)测和生产过程中的数据统计,提供多种看板模版;针对指定缺陷种(zhǒng)类或者指(zhǐ)定时(shí)间段(duàn),提(tí)供多种良(liáng)率(lǜ)统计方式(shì);提供多种(zhǒng)数据(jù)保存接口,生产过(guò)程可(kě)追溯(sù);针对工业场(chǎng)景特点,支持灵活自由配置显(xiǎn)示单元、统计指标、结果查询、导出、上传逻辑;集成统(tǒng)一(yī)、可视化的(de)多机位硬件(jiàn)接口调试工具(jù),使调试过程(chéng)更加便(biàn)捷
算法(fǎ)特色
在复杂背(bèi)景影像中。我们(men)依然可以将(jiāng)污染正确(què)检出;可以将特定特征瑕疵给予消除; 自动产生针痕屏蔽。消除针痕位置(zhì),抓(zhuā)取针(zhēn)痕外的(de)瑕疵